划切加工中晶圆的图像识别

• 作者: 孟宪俊 张文斌
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 划切加工 图像识别 定位 晶圆
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 32-36
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2168字
• 语种: 中文

摘要

针对划切设备加工中的一种常见材料LED 蓝宝石晶圆，来实现全自动对准与划切的要求，对于如何通过晶圆图像进行定位对准，详细阐述了一种基于边缘检测和模板匹配的定位方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文斌	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	19	2.0	4.0
2	孟宪俊	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	5	2.0	2.0