靶基距对脉冲激光沉积CNx薄膜微结构和摩擦学性能的影响

• 作者: 宋建强 杨芳儿 沈涛 郑晋翔 郑晓华 陈乐生
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 氮化碳 脉冲激光沉积 X射线光电子谱 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 63-68
• 分类号: TG174.44|TG115.58
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.01.011

摘要

用脉冲激光沉积法制备CNx靶材在氮气中进行烧蚀,在不同靶基距下制备了CNx薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子谱(XPS)和Raman光谱等对薄膜的表面形貌、化学成分以及元素化学状态进行了表征.用球盘式微型摩擦磨损试验仪测试了薄膜在大气中的摩擦学特性.结果表明:随着靶基距增大到45 mm时,CNx薄膜中的含氮量(原子数分数)上升至23.9％,有利于sp3C-C键和N-sp3C键的形成.当靶基距从45 mm增大至51 mm时,薄膜的含氮量下降至15.5％,薄膜中sp3 C-N键和N-sp3C键的相对原子数分数亦随之减少,薄膜中的s p2 C-C键的相对原子数分数从45.2％增加至55.9％,磨损率从4.3×10-15m3/Nm上升至3.1×10-14 m3/Nm.CNx薄膜的平均摩擦因数随着靶基距的增大从0.25下降到0.18.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑晓华	浙江工业大学机械工程学院	35	161	7.0	10.0
2	陈乐生		19	85	4.0	8.0
3	杨芳儿	浙江工业大学机械工程学院	32	87	6.0	7.0
4	沈涛	浙江工业大学机械工程学院	5	11	2.0	3.0
5	郑晋翔	浙江工业大学机械工程学院	4	10	2.0	3.0
6	宋建强	浙江工业大学机械工程学院	5	7	2.0	2.0