基于磁控溅射制备的纳米铜薄膜的激光微冲击试验

• 作者: 刘海霞 叶云霞 花银群 薛青 陈瑞芳
• 来源期刊: 江苏大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米铜薄膜 激光冲击 磁控溅射 显微硬度 弹性模量
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 719-722
• 页数: 4页
• 分类号: TG156.99|TN249
• 字数: 2907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7775.2013.06.018

摘要

应用激光微冲击强化处理技术,对不同磁控溅射参数下制备的纳米铜薄膜进行了强化处理,并对其表面形貌、硬度、弹性模量进行了测试和分析.结果表明:纳米铜薄膜经激光微冲击处理后,SEM显示薄膜表层的铜晶粒发生了明显的塑性形变,在厚度方向上被压平,晶粒边界处的细小空隙被填充,表面变得致密,颗粒尺寸明显增大.在每组试样的冲击区和非冲击区进行了多组纳米压痕试验,以确定冲击后铜薄膜力学性能的变化.经测试,各组试样冲击处理的条件不同,薄膜力学性能变化有所差异;硬度最小的也增加了38.84％,硬度增加最大的达到106.58％;弹性模量最小提高了14.62％,弹性模量最大提高了134.82％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘海霞	江苏大学材料科学与工程学院	26	93	6.0	8.0
2	花银群	江苏大学材料科学与工程学院	66	512	13.0	20.0
6	陈瑞芳	江苏大学机械工程学院	43	413	12.0	19.0
7	叶云霞	江苏大学机械工程学院	43	335	10.0	17.0
8	薛青	江苏大学机械工程学院	7	51	2.0	7.0