栅极导电层Au迁移导致放大器失效原因分析

• 作者: 包生祥 张诚实 郑雨薇 饶真真
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 限幅低噪声放大器 场效应管 Au层 电迁移 热迁移 栅极
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TN432
• 字数: 1881字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2013.06.012

摘要

针对限幅低噪声放大器使用过程中出现输出不稳定现象,利用扫描电镜和能谱仪对场效应管栅极表面的金属缺失层和栅源之间的金属堆积物进行微观分析,寻找放大器工作不正常的原因.结果表明:场效应管栅极Au层的电迁移,使导线局部电阻增大,温度升高,导致Au的热迁移加重,引起导线出现孔洞和栅源中间堆积金属颗粒,使栅极导线出现开路和栅源极间产生不稳定接触,最终导致场效应管的工作参数漂移和放大器工作不正常.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	包生祥	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	52	181	7.0	10.0
2	饶真真	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	9	2.0	3.0
3	张诚实	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	11	2.0	3.0
4	郑雨薇	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	3	1.0	1.0