磁控溅射镀膜的原理与故障分析

• 作者: 郝晓亮
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 物理气象淀积 磁控溅射 故障分析 镀膜工艺
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.92
• 字数: 3484字
• 语种: 中文

摘要

介绍了磁控溅射镀膜的种类及特点。以直流磁控溅射为例，介绍了其结构、原理，分析了影响磁控溅射工艺稳定性的因素。最后总结了磁控溅射镀膜工艺中常见的故障以及解决方法。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝晓亮	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	71	2.0	6.0