电弧增强磁控溅射制备的纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能

• 作者: 郑凤新
• 来源期刊: 材料保护
• 学科: 工学
• 关键词: AEMS 纳米复合Si-C-N超硬薄膜 显微结构 硬度 断裂韧性 摩擦系数
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 技术应用
• 页码范围: 55-57
• 分类号: TG172.2
• 语种: 中文

摘要

耐磨、韧性好的超硬薄膜工程应用价值大.采用电弧增强磁控溅射(AEMS)技术在GCr15轴承钢表面制备了纳米复合Si-C-N超硬薄膜,研究了薄膜的形貌、相组成、硬度、韧性和摩擦磨损性能.结果表明:薄膜中纳米SiC与Si3 N4晶体弥散分布于C-C,C=C以及N-C组成的非晶相基体中,形成了纳米晶/非晶复合组织结构,显著提高了薄膜的硬度和韧性,增强了薄膜的抗摩擦磨损性能；薄膜的硬度为(36.5±3.9) GPa,断裂韧性为(4.15±0.28) MPa·m1/2,稳定摩擦系数为0.27左右.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑凤新	济宁技师学院机械工程系	1	0	0.0	0.0