低温透明非晶IGZO薄膜晶体管的光照稳定性*

• 作者: 信恩龙 张建华 李喜峰? 李春亚 石继锋 陈龙龙
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 非晶铟镓锌氧化合物 薄膜晶体管 光照稳定性 电滞现象
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 页码范围: 440-444
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.62.108503

摘要

采用室温射频磁控溅射非晶铟镓锌氧化合物(a-IGZO),在相对低的温度(<200?C)下成功制备底栅a-IGZO薄膜晶体管器件,其场效应迁移率10 cm?2·V?1·s?1,开关比大于107,亚阈值摆幅SS为0.4 V/dec,阈值电压为3.6 V.栅电压正向和负向扫描未发现电滞现象.白光发光二极管光照对器件的输出特性基本没有影响,表明制备的器件可用于透明显示器件.研究了器件的光照稳定性,光照10000 s后器件阈值电压负向偏移约0.8 V,这种漂移是由于界面电荷束缚所致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建华	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	106	709	13.0	21.0
2	陈龙龙	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	4	16	3.0	4.0
3	石继锋	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	6	18	3.0	4.0
4	信恩龙	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	4	21	3.0	4.0
5	李春亚	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	3	10	2.0	3.0
6	李喜峰?	上海大学新型显示技术及应用集成教育部重点实验室	1	6	1.0	1.0