电润湿纳米压印光刻胶的制备及其特性研究

• 作者: 刘力行 孟令杰 常刚 曹瑞军 黄春江
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米压印 光固化树脂 电润湿 电毛细填充
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 3-9
• 页数: 7页
• 分类号: TQ31
• 字数: 3528字
• 语种: 中文

摘要

实现对微纳米模板的充分填充是传统纳米压印胶的一个重要难题.本文设计和制备了一种类离子液体的丙烯酸酯化合物I-M-PET3A.以N,N-二甲基乙醇胺为助引发剂,二苯甲酮为光敏剂,丙烯酸羟丙酯为活性稀释剂与I-M-PET3A共混制备的纳米压印胶具有相对小的粘度(530mpa·s)和好的导电性能(33.98μs/cm),从而表现出良好的电润湿特性.在200V,10Hz方波交流电额外施加的电毛细驱动下,复配的压印胶大约10s即可充分填充30μm×120μm的微槽.经光固化和脱模后能保持完美的微纳米图案.该纳米压印胶同时具有光固化和电润湿特性,为高性能纳米压印胶的开发提供了新思路.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟令杰	西安交通大学理学院化学系	18	121	6.0	10.0
2	曹瑞军	西安交通大学理学院化学系	42	377	12.0	18.0
3	刘力行	西安交通大学理学院化学系	3	25	2.0	3.0
4	常刚	西安交通大学理学院化学系	6	13	2.0	3.0
5	黄春江	西安交通大学理学院化学系	2	2	1.0	1.0