低温磁控溅射制备CdS薄膜的结构和光学特性

• 作者: 徐闰 方泽波 朱燕艳
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 地球科学
• 关键词: CdS 磁控溅射 太阳能电池
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 40-44
• 页数: 5页
• 分类号: P578.2|TN305.92|TM914.4
• 字数: 489字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1010.2014.00040

摘要

用磁控溅射的方法在透明导电氧化物衬底上制备了CdS薄膜,制备时的衬底温度为30 ～ 200℃.X射线衍射测试结果表明在这一条件下制备的CdS薄膜是六角纤锌矿的多晶结构.扫描电子显微镜结果显示薄膜具有较好的晶体质量,这一结论也和拉曼光谱、紫外-可见吸收光谱、光致发光光谱的结果一致.拉曼光谱显示CdS薄膜内部的压应力随着制备温度的提高而增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	方泽波	绍兴文理学院物理系	15	18	2.0	3.0
2	朱燕艳	上海电力学院数理学院	21	14	2.0	3.0
3	徐闰	上海大学材料系	6	7	2.0	2.0