溅射时间对CIGS薄膜的结构及性能影响

• 作者: 冯同 刘贵山 李刚 李好娜 胡志强 郝洪顺
• 来源期刊: 大连工业大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铜铟镓硒(CIGS)薄膜 一步磁控溅射法 溅射时间
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 纺织与材料工程
• 页码范围: 214-216
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.42
• 语种: 中文

摘要

选择铜铟镓硒(CIGS)四元合金靶材,采用一步磁控溅射法在钠钙硅玻璃衬底上制备CIGS薄膜.重点研究了溅射时间对CIGS薄膜结构及性能的影响.采用XRD、SEM、UV-Vis及四探针测试仪对薄膜进行表征.结果表明,随着溅射时间的增加,薄膜增厚,薄膜的结晶度变好,颗粒增大尺寸约1 mm,电阻率明显降低,可见光的吸收系数接近105 cm-1.CIGS吸收层的性能对改善CIGS薄膜光伏电池的光转换效率非常有利.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡志强		67	242	8.0	11.0
2	郝洪顺		32	38	4.0	5.0
3	刘贵山		48	121	6.0	9.0
4	李刚		2	0	0.0	0.0
5	李好娜		1	0	0.0	0.0
6	冯同		2	0	0.0	0.0