m面蓝宝石上外延(110)取向立方MgZnO薄膜及其日盲紫外探测器件研究

• 作者: 刘益春 姜明明 张吉英 张振中 李炳辉 王双鹏 赵东旭 郑剑 陈星
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 立方MgZnO (110)取向 日盲紫外探测器 MOCVD
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能
• 页码范围: 678-683
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 字数: 1703字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20143506.0678

摘要

由于在日盲紫外探测方面的应用前景,具有合适带隙的MgZnO合金半导体薄膜受到越来越多的关注.获得具有择优取向的单一相MgZnO对提升MgZnO基日盲紫外探测器性能至关重要.本文利用低压金属有机化学气相沉积(LP-MOCVD)方法在m面蓝宝石衬底上制备了一系列不同组分的MgZn1-xO薄膜.光学和结构特性测试结果表明:Zn摩尔分数达到55％的Mg0.45Zn0.55O薄膜依然是单一立方相,其光学带隙可以达到4.7 eV.立方岩盐结构MgZnO与m面蓝宝石衬底的外延结构关系为(110)MgZnO‖(1010)-sapphire、[001]MgZnO||[1210]sappire和[110]-MgZnO|| [0001]sapphire.唯一确定的面内取向有利于薄膜晶体质量的提高.基于(110)取向立方相Mg0.45Zn0.55O薄膜制备金属-半导体-金属(MSM)结构器件,获得了光响应峰在260 nm、光响应截止波长278 nm的日盲紫外探测器.