热退火诱导C+注入Si晶体的蓝光发射

• 作者: 卢赛 周原 杨宇 王茺 韦冬
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 化学
• 关键词: 离子注入 SiC发光 量子限制效应
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 页码范围: 918-922
• 页数: 5页
• 分类号: O643
• 字数: 3385字
• 语种: 中文

摘要

在室温和注入能量为60 keV的条件下,在硅晶片中注入C+,使其剂量达到5.0×1016 cm2,随后即对样品进行高温退火处理.采用X射线衍射(XRD),拉曼和光致发光(PL)光谱技术对样品进行了表征.实验结果显示:C+注入后经高温退火的样品的XRD图谱中,在40°附近处出现了衍射峰,表明经退火后样品中形成了纳米尺寸的SiC团簇,并观察到了强烈的蓝光发射.PL光谱中的蓝光峰起源于量子限制效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宇	云南大学光电信息材料研究所	101	377	9.0	12.0
2	王茺	云南大学光电信息材料研究所	50	148	7.0	8.0
3	周原	云南大学光电信息材料研究所	3	2	1.0	1.0
5	韦冬	云南大学光电信息材料研究所	4	3	1.0	1.0
6	卢赛	云南大学光电信息材料研究所	2	2	1.0	1.0