多晶硅铸锭炉的工艺操作研究

• 作者: 张东
• 来源期刊: 轻工科技
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 铸锭炉 结构
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 所属期刊栏目: 化工与材料
• 页码范围: 29-30
• 页数: 2页
• 分类号: TQ063
• 语种: 中文

摘要

多晶硅铸锭炉的生产工艺流程的稳定性直接关系到生产的硅锭合格与否.详细介绍多晶硅铸锭炉的装料、装炉和抽真空、检漏及工艺的实现,并对铸锭炉操作工艺流程进行深入的研究和探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张东		21	15	3.0	3.0