浅谈微电子机械系统技术相关研究

• 作者: 宋健
• 来源期刊: 消费电子
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 研究综述
• 年，卷（期）: 2014,（24）
• 所属期刊栏目: 智能终端应用
• 页码范围: 12-12
• 页数: 1页
• 分类号: TH-39
• 字数: 2109字
• 语种: 中文

摘要

微电子机械系统技术的特点是可使制品微型化、集成化并以硅作为加工材料。该技术可分为体微机械加工、表面微机械加工、金属微机械加工和复合微机械加工四类。所采用的基础技术主要有：腐蚀技术、硅键合技术、多层无应力薄膜沉积技术、牺牲层技术、LIGA技术以及以上技术的复合，该项技术应用广泛。本文阐述了微电子机械系统的概念，分析了微电子机械系统加工工艺，最后提出来MEMS技术发展的趋势及展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋健		2	1	1.0	1.0