白光干涉测量超薄透明电极 ITO 薄膜的厚度

• 作者: 伊藤雅英 陈凯 雷枫
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 白光干涉 频域分析 测量 厚度 透明电极
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 微纳光学
• 页码范围: 567-573
• 页数: 7页
• 分类号: O438|O439
• 字数: 2397字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20150804.0567

摘要

随着平板显示技术的发展，透明电极ITO膜的厚度越来越薄。为了测试这种极薄的ITO膜，本文通过改进已有的频域分析算法，以便测试膜厚在20～150 nm之间的ITO膜。与现有算法相比，该算法有效改进了各个波长的位相解析精度。实验结果表明，待测透明电极薄膜的厚度为90～104 nm，其结果和标定值一致，证明了该算法能够测量膜厚小于100 nm的透明电极ITO薄膜。