激光修补技术在修复薄膜图形缺陷上的应用——薄膜图形缺陷激光修补机

• 作者: 万承华 宋体涵
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 激光化学气相沉积(LCVD) 金属薄膜 快速成膜 激光快速去除(ZAP) 设备参数
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TN305
• 字数: 4446字
• 语种: 中文

摘要

阐述了应用激光修补技术在玻璃基板上去除金属及其化合物薄膜和在玻璃基板上沉积金属薄膜的图形缺陷修补原理与方法;简述了影响薄膜图形缺陷修补质量与效率的关键技术;简单介绍了薄膜图形缺陷激光修补机的系统构成及其技术与性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万承华		2	1	1.0	1.0
2	宋体涵		1	0	0.0	0.0