热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积法制备纳米晶金刚石膜的研究

• 作者: 姜宏伟 孙丽 彭鸿雁 赵万邦 赵立新
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 化学
• 关键词: 纳米晶金刚石膜 热阴极直流辉光等离子体化学气相沉积 氩气/甲烷/氢气混合气
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 材料研究
• 页码范围: 6-9,17
• 页数: 5页
• 分类号: TB321|O613.71|O484.4
• 字数: 4238字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11896/j.issn.1005-023X.2015.04.002

摘要

采用热阴极直流辉光等离子体CVD方法,在氩气/甲烷/氢气混合气氛中制备出纳米晶金刚石膜,研究不同氩气/氢气流量比对纳米晶金刚石膜沉积的影响.对样品形貌的SEM测试表明,随着氩气与氢气流量比由40/160增加到190/10,膜中金刚石晶粒尺寸由约600 nm减小到约30 nm.金刚石膜Raman谱中金刚石特征峰逐渐减弱,石墨G峰逐渐增强,反式聚乙炔特征峰及其伴峰强度加大.等离子体光谱分析表明C2是生长纳米晶金刚石膜的主要活性基团.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜宏伟	牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料黑龙江省重点实验室	29	46	3.0	5.0
2	赵立新	牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料黑龙江省重点实验室	12	94	4.0	9.0
3	彭鸿雁	海南师范大学物理与电子工程学院	17	1	1.0	1.0
4	赵万邦	大连理工大学汽车工程学院	1	1	1.0	1.0
5	孙丽	海南师范大学物理与电子工程学院	7	6	2.0	2.0