碳氧比对金刚石薄膜生长的影响

• 作者: 刘繁 刘辉 吴骁 孙祁 汪建华 翁俊 陈义
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 CO2 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 知 识 与 进 展
• 页码范围: 237-240
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 3040字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.04.012

摘要

采用微波等离子体化学气相沉积法，以H2/CH4/CO2为混合气源，通过改变气源碳氧比，探讨了碳氧比对金刚石薄膜生长的影响。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和Raman光谱表征金刚石薄膜的表面形貌、晶粒取向和结晶质量。结果表明，随着C/O比的降低，金刚石膜表面形貌由原来的（100）面为主转向（111）面为主的金字塔形，薄膜质量有所提高，内应力降低。