柔性PET衬底上ZnO薄膜的制备、电学性质及激光辐照效应

• 作者: 甘贵贤 陆慧
• 来源期刊: 华东理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 柔性PET衬底 激光辐照 电学性质 微观结构
• 年，卷（期）: 2016,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 737-742
• 页数: 6页
• 分类号: O484.4
• 字数: 4459字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14135/j.cnki.1006-3080.2016.05.023

摘要

室温下采用中频反应磁控溅射技术在柔性PET (Polyethylene terephthalate)衬底上沉积了ZnO薄膜.研究了溅射功率和氩氧流量比对薄膜电学性质的影响,获得室温沉积柔性ZnO薄膜的优化工艺条件为溅射功率20 W和氩氧流量比1∶1.采用不同能量密度的激光辐照,有效改善了柔性ZnO薄膜的晶体结构和电学性能.原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)测试结果显示,激光辐照可使薄膜表面ZnO颗粒产生团聚融合,并在(100)和(101)晶面上产生明显的取向生长,薄膜由非晶转为多晶结构.Hall性质的研究结果表明,激光辐照可有效提高ZnO薄膜的载流子浓度,降低电阻率,改善室温沉积柔性ZnO薄膜导电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆慧	华东理工大学物理系	20	99	6.0	9.0
2	甘贵贤	华东理工大学物理系	1	2	1.0	1.0