溅射功率对PET衬底上ZnO∶Zr薄膜性能的影响

• 作者: 刘汉法 张化福 类成新 袁玉珍 袁长坤
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO∶Zr薄膜 透明导电薄膜 磁控溅射 溅射功率
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 58-60
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 2484字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.09.016

摘要

采用直流磁控溅射法在室温下柔性PET衬底上制备出了高质量的掺锆氧化锌(ZnO∶Zr)透明导电薄膜.研究了溅射功率对ZnO∶Zr薄膜表面形貌、结构、电学和光学性能的影响.溅射功率对ZnO∶Zr薄膜的电阻率影响显著:当溅射功率从60 W增加到90 W时,薄膜的电阻率先减小后增大,在最佳功率80 W时,电阻率具有最小值3.67×10-3 Ω·cm.所制备的ZnO∶Zr薄膜具有良好的附着性能,在可见光区平均透射率高达90%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁玉珍	山东理工大学理学院	26	159	7.0	11.0
2	刘汉法	山东理工大学理学院	57	316	11.0	13.0
3	张化福	山东理工大学理学院	52	292	11.0	13.0
4	类成新	山东理工大学理学院	48	201	8.0	10.0
5	袁长坤	山东理工大学理学院	23	126	6.0	10.0