精密运动平台的五自由度误差同时测量方法

• 作者: 吕文 李继攀 段吉安 王丽军 郑煜
• 来源期刊: 中南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 同时测量 五自由度 运动误差 准直光束 运动平台
• 年，卷（期）: 2017,（10）
• 所属期刊栏目: 机械工程·控制科学与工程
• 页码范围: 2628-2634
• 页数: 7页
• 分类号: TN247
• 字数: 3191字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11817/j.issn.1672-7207.2017.10.010

摘要

提出一种同时测量运动平台五自由度误差的方法.采用准直的激光光束作为基准,仅以角锥棱镜作为误差测量的敏感器件,由1个斜方棱镜和聚焦透镜并辅以光电位移传感器组成测量系统.研究结果表明:直线运动平台2个直线度误差和3个角度误差可同时测量,且测量头无电缆连接;测量直线度误差的分辨率小于0.1μm,角度误差的分辨率小于1″;直线度和角度测量精度分别达到1μm和5″.测量系统结构简单,易于安装和调节,适用于运动平台多自由度误差精密测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段吉安	中南大学机电工程学院高性能复杂制造国家重点实验室	107	973	17.0	24.0
2	郑煜	中南大学机电工程学院高性能复杂制造国家重点实验室	25	114	6.0	9.0
3	王丽军	中南大学机电工程学院高性能复杂制造国家重点实验室	4	10	2.0	3.0
4	李继攀	中南大学机电工程学院高性能复杂制造国家重点实验室	4	10	2.0	3.0
5	吕文	中南大学机电工程学院高性能复杂制造国家重点实验室	4	10	2.0	3.0