溅射温度对BCN薄膜质量的研究

• 来源期刊: 科学技术创新
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 BCN薄膜 气体流量 表征
• 年，卷（期）: 2017,（31）
• 所属期刊栏目: 科技创新
• 页数: 1页
• 分类号: TB383.2
• 语种: 中文

摘要

近年来,研究者们对硬质薄膜的研究越来越广泛,而BCN薄膜由于其优异的性能深的研究者的青睐,其应用的范围也是极其广泛.本文主要通过射频磁控溅射法制备BCN薄膜,在溅射功率,气体流量,工作气压保持不变的前提下改变沉积温度,通过原子力显微镜,傅里叶红外析光谱,台阶仪表征手段对薄膜进行分析.