衬底温度和溅射功率对AZO薄膜性能的影响

• 作者: 于军 李钢贤 王晓晶 王航
• 来源期刊: 华中科技大学学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: AZO薄膜 磁控溅射 衬底温度 溅射功率 电阻率 可见光透射率
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 电子与信息工程
• 页码范围: 93-96,101
• 分类号: TK51
• 语种: 中文

摘要

采用RF磁控溅射法在载玻片上制备了可用于电极材料的掺Al氧化锌（AZO）透明导电薄膜,并对不同衬底温度和溅射功率下制备的AZO薄膜结构、光电性能进行了表征分析.结果表明：各种工艺条件下沉积的AZO薄膜均具有明显的（002）择优取向,没有改变ZnO六方纤锌矿结构;薄膜电阻率随衬底温度升高而减小,随溅射功率增加先减小后增大,衬底温度400oС、溅射功率200W时最小,为1.53×105Ω·m;可见光平均透射率均在80%以上,光学带隙与载流子浓度变化趋势一致,最大值为3.52eV.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于军	华中科技大学电子科学与技术系	103	537	11.0	16.0
2	王晓晶	华中科技大学电子科学与技术系	14	109	5.0	10.0
3	王航	华中科技大学电子科学与技术系	1	5	1.0	1.0
4	李钢贤	华中科技大学电子科学与技术系	1	5	1.0	1.0