Au薄膜溅射功率对ZnO/Au复合薄膜质量的影响

• 作者: 姚明秋 席仕伟 徐韩 王旭光
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射 溅射功率 Au薄膜 ZnO电阻
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 微电子、微系统与物理电子学
• 页码范围: 980-982
• 页数: 3页
• 分类号: TH703|TN305.2
• 字数: 1653字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201506.0980

摘要

在ZnO薄膜上采用不同溅射功率制作了Au薄膜,研究不同溅射功率对Au膜成膜速率、结晶质量和结合力的影响,表明在本实验中100 W功率下Au膜的成膜质量比较好.同时对 ZnO 薄膜电阻的影响进行了研究,结果表明溅射功率越高,ZnO 导通的可能性越大,通过实验,溅射工艺在100 W下制备的Au薄膜对ZnO电阻影响最小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	席仕伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	12	59	4.0	7.0
2	王旭光	中国工程物理研究院电子工程研究所	6	27	3.0	5.0
3	姚明秋	中国工程物理研究院电子工程研究所	7	30	3.0	5.0
4	徐韩	中国工程物理研究院电子工程研究所	5	22	2.0	4.0