并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量

• 作者: 丁亚林 向阳 周振平 方超 齐克奇
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 并联式 自解耦 微位移平台 嵌套式平行导向机构 有限元方法
• 年，卷（期）: 2017,（7）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1874-1881
• 页数: 8页
• 分类号: TH112.5
• 字数: 3274字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20172507.1874

摘要

针对传统串联式微位移机构具有的结构不紧凑和刚度较低等问题,本文设计了一种结构紧凑、具有高分辨率和高刚度的并联式自解耦二自由度微位移平台.该平台采用了4个对称布置的嵌套式平行导向机构,使得平台具有刚度对称和自解耦等特点.本文还对嵌套式平行导向机构的工作原理进行了分析.通过有限元方法仿真分析了微位移平台在不同受力状态下的变形情况,并对其进行了模态分析.经实验测量,证实了该平台具有自解耦功能,并得出了微位移平台的实际行程,且其输出位移也被证实具有较为良好的线性度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向阳	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	45	394	12.0	18.0
2	丁亚林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院航空光学成像与测量重点实验室	104	917	16.0	25.0
3	齐克奇	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	9	36	3.0	5.0
7	方超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	19	78	5.0	8.0