浅析光学晶体加工中化学机械抛光

• 作者: 景爱梅 王涛 郭盈
• 来源期刊: 南方农机
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学晶体 化学机械抛光 加工技术
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 机电技术应用
• 页码范围: 116
• 页数: 1页
• 分类号: O786
• 字数: 1268字
• 语种: 中文

摘要

随着社会的发展,人们对材料的需求日益增大,而红外光学技术的发展,推动者各种晶体材料得到了广泛的应用.因而,晶体材料的开发、加工及应用普遍受到人们的重视,为了对光学晶体中化学机械抛光进行深入的研究,笔者首先对光学晶体化学机械抛光发展现状进行了资料的收集整理,之后对光学晶体化学机械抛光技术研究,详细介绍了抛光技术的机理以及工艺思路的研究.最后,对光学晶体化学机械抛光过程中的各种问题进行分析,希望通过笔者的研究能够对我国光学晶体加工有所帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王涛		14	45	4.0	6.0
2	景爱梅		3	3	1.0	1.0
3	郭盈		1	1	1.0	1.0