磨粒和抛光垫特性对蓝宝石超声化学机械抛光的影响

• 作者: 李小兵 袁任江 许文虎 钟敏 陈建锋
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石 超声弯曲振动 化学机械抛光 抛光液 抛光垫
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 125-132
• 页数: 8页
• 分类号: TG175
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20180824002

摘要

抛光磨粒和抛光垫对蓝宝石超声化学机械抛光起重要作用,为研究磨粒和抛光垫特性对蓝宝石材料抛光效率和质量的影响,利用自制超声弯曲振动辅助化学机械抛光装置,研究金刚石、氧化铝和二氧化硅3种不同磨粒,以及表面多孔且无沟槽的聚氨酯抛光垫、IC1000抛光垫、IC1000和SubaⅣ复合抛光垫对蓝宝石材料去除率及抛光后表面粗糙度的影响.由质量损失求得的去除率和原子力显微镜表面形貌测试结果表明:二氧化硅抛光液的去除率3.2 μm/h接近氧化铝抛光液去除率3.8 μm/h,远大于金刚石抛光液去除率0.3 μm/h,且其抛光后的蓝宝石表面光滑、无损伤;3种抛光垫抛光后的蓝宝石粗糙度接近,约0.10 nm,但聚氨酯抛光垫的去除率为3.2 μm/h,远大于IC1000抛光垫的去除率1.9 μm/h及复合垫的去除率1.6 μm/h.二氧化硅抛光液和聚氨酯抛光垫适宜蓝宝石超声化学机械抛光工艺,可获得高去除率和原子级光滑表面.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李小兵	南昌大学机电工程学院	72	616	11.0	22.0
5	钟敏	南昌大学机电工程学院	3	27	2.0	3.0
9	袁任江	南昌大学机电工程学院	1	4	1.0	1.0
10	陈建锋	南昌大学机电工程学院	3	4	1.0	2.0
14	许文虎	南昌大学机电工程学院	2	27	2.0	2.0