激光划片机的晶圆自动对准方法研究

• 作者: 张乾 张永昌 谭立杰 邓胜强
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 激光划片机 图像识别 底部对准 玻璃钝化(GPP)晶圆
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体装置工艺与设备
• 页码范围: 24-27,63
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.1
• 字数: 2585字
• 语种: 中文

摘要

针对激光划片机的自动化生产需求,通过图像识别与模板匹配策略,在底部对准的激光划片机上实现GPP晶圆的自动旋转对位,并通过建立网格节点的方式计算划片轨迹,实现晶圆正面图形的自动识别与划片.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭立杰	中国电子科技集团公司第四十五研究所	11	20	3.0	4.0
2	张乾	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	13	2.0	3.0
3	张永昌	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	2	1.0	1.0
4	邓胜强	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	1	1.0	1.0