电子束退火法制备Li-N共掺杂多晶ZnO薄膜

• 作者: 孔祥东 李晓娜 李艳丽 李辉 韩立
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 化学
• 关键词: 电子束退火 掺杂 多晶 ZnO薄膜
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 材料合成及性能
• 页码范围: 293-299,300
• 页数: 8页
• 分类号: O649
• 字数: 4622字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20183903.0293

摘要

为研究电子束退火对Li-N共掺杂ZnO薄膜性能的影响,首先利用溶胶-凝胶旋涂法在p型Si(111)衬底上制备Li-N共掺杂的ZnO前驱膜,然后用电子束对前驱膜进行退火.退火时,电子束加速电压10 kV,退火时间5 min,聚焦束流123 mA,束流为0.7~1.9 mA,最后得到Li-N共掺杂的ZnO薄膜.XRD谱分析表明,当束流高于1.5 mA之后,薄膜为六方ZnO和立方ZnO的混合多晶薄膜,且有金属Zn生成,导致薄膜有较强的绿光发射.SEM图片分析显示,薄膜的晶粒尺寸随束流增加而增大,当束流高于1.5 mA后,晶粒尺寸变化不大,约为60 nm.光致发光(PL)谱和激光拉曼谱的分析结果证实Li、N元素已掺入ZnO晶格中,PL谱中观察到Li元素掺杂引起的紫光发射,拉曼散射光谱中观察到N替代O位的缺陷振动模式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李辉		214	1637	20.0	32.0