金属-半导体-金属结构非极性a-AlGaN深紫外探测器的制备

• 作者: 张滢 徐建飞 梁征 石璐珊 贾辉
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 工学
• 关键词: 深紫外探测器 二氧化硅纳米颗粒 非极性a面铝镓氮 金属-半导体-金属结构
• 年，卷（期）: 2018,（9）
• 页码范围: 1304-1308
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.14062/j.issn.0454-5648.2018.09.18

摘要

通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)高温外延生长的未掺杂非极性a-AlGaN半导体薄膜,制备了金属-半导体-金属(MSM)结构的深紫外光电探测器,研究了在a-AlGaN半导体薄膜表面磁控溅射不同时间的SiO2纳米颗粒对a-AlGaN MSM结构的深紫外探测器性能的影响.结果表明:5 V偏压下,探测器光谱响应峰值提高了大约3个数量级,深紫外近可见抑制比高达104,具有很好的深紫外特性,同时暗电流也下降了2～3个数量级,磁控溅射SiO2纳米颗粒提升了a-AlGaN MSM结构深紫外探测器性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾辉	公安海警学院基础部	11	15	3.0	3.0
2	徐建飞	公安海警学院基础部	19	16	3.0	3.0
3	石璐珊	宁波科技信息研究院研究中心	2	2	1.0	1.0
4	梁征	公安海警学院基础部	11	10	2.0	2.0