气体流量对磁控溅射制备ZnO薄膜沉积速率以及阻隔能力的影响

• 作者: 杨林 江志明 王超楠 鲁听 黄保进
• 来源期刊: 科技风
• 关键词: 射频磁控溅射技术 氧化锌薄膜 氩气流量 透过性
• 年，卷（期）: 2018,（15）
• 所属期刊栏目: 机械化工
• 页码范围: 126
• 页数: 1页
• 字数: 905字
• 语种: 中文
• DOI: 10.19392/j.cnki.1671-7341.201815115

摘要

采用射频磁控溅射技术,以氧化锌(ZnO)为靶材,在PET塑料表面沉积制备了氧化锌薄膜包装材料,研究了氩气(Ar)流量对所制备的ZnO薄膜结构、形貌、沉积速率、透氧率以及透湿率的影响.实验结果表明,当氩气流量为40 sccm时,ZnO薄膜表面均匀且致密,其氧气透过率可以达到1.14 cc/(m2.d),水蒸汽透过率为0.43 g/(m2.d).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王超楠	贵州民族大学材料科学与工程学院	4	0	0.0	0.0
3	鲁听		3	0	0.0	0.0
6	杨林	贵州民族大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
7	黄保进	贵州民族大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0
8	江志明	贵州民族大学材料科学与工程学院	1	0	0.0	0.0