基于喷墨打印方法锌锡氧化物薄膜晶体管制备与性能研究

• 作者: 周路 杨小天 沈兆伟 王超 陆璐
• 来源期刊: 吉林建筑大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶液法 喷墨打印 锌锡氧化物(ZTO) 退火温度 薄膜晶体管(TFT)
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 所属期刊栏目: 工程科技
• 页码范围: 81-85
• 页数: 5页
• 分类号: TB383
• 字数: 2422字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0185.2019.06.015

摘要

通过在乙二醇甲醚中溶解二水合乙酸锌(Zn(CH3COO)2·2H2O)和二水合氯化亚锡(SnCl2·2H2O)制备了锌锡氧化物(ZnSnO)前驱体溶液,采用喷墨打印技术制备了锌锡氧化物薄膜晶体管(ZTO-TFT),研究了不同退火温度对ZnSnO薄膜光透过率和TFT器件电学性能的影响.结果表明,不同退火温度对薄膜的可见光区透过率有一定影响,退火温度低于400℃时,随着退火温度的升高,薄膜的可见光区透过率有所上升,当退火温度达到400℃以上时,薄膜的可见光区透过率基本不受影响,且平均透过率大于80％;随着退火温度的升高,打印制备的TFT器件的载流子迁移率和电流开关比随之增大,当退火温度达到500℃时,打印制备的TFT器件电流开关比达到104.因此,合理较高的退火温度有利于打印方法制备的ZTO-TFT器件性能的改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨小天	吉林建筑大学吉林省建筑电气综合节能重点实验室	36	115	5.0	9.0
2	王超	吉林建筑大学吉林省建筑电气综合节能重点实验室	37	82	4.0	8.0
3	周路	吉林建筑大学吉林省建筑电气综合节能重点实验室	7	1	1.0	1.0
4	沈兆伟	吉林建筑大学吉林省建筑电气综合节能重点实验室	3	0	0.0	0.0
5	陆璐	吉林建筑大学吉林省建筑电气综合节能重点实验室	3	0	0.0	0.0