波型结构样品二次电子发射的Monte Carlo模拟

• 作者: KHAN Muhammad Saadat Shakoor 丁泽军 李超 邹艳波
• 来源期刊: 中国科学技术大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子显微镜 Monte Carlo 二次电子
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 电子与信息科学
• 页码范围: 79-86
• 页数: 8页
• 分类号: TN4|O59|O24
• 字数: 1156字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0253-2778.2019.01.011

摘要

模拟扩展到具有平滑弯曲形貌的波形结构样品.MC模拟模型用Mott截面描述电子的弹性散射以及基于完全Penn算法的介电函数理论描述电子的非弹性散射.综合考虑了不同实验因素,如电子束能量,几何参数和材料性质对波型结构样品CD-SEM线扫描曲线的影响;计算表明,随着样品结构高度的降低,二次电子的两个侧边峰可以合并成一个中心单峰,该特征为平滑线状结构样品的关键尺寸表征带来了新的挑战.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李超		155	838	13.0	19.0
2	邹艳波		14	22	3.0	4.0
4	丁泽军		21	55	4.0	7.0
5	KHAN Muhammad Saadat Shakoor		1	0	0.0	0.0