退火温度对Cr掺杂ZnO薄膜的微结构与机械性能的影响研究

• 作者: 方新 马媛媛
• 来源期刊: 原子与分子物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化锌薄膜 铬掺杂 射频磁控溅镀 退火 微结构 机械性能
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 团簇与纳米结构
• 页码范围: 48-54
• 页数: 7页
• 分类号: TQ174.75
• 字数: 3218字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0364.2019.01.009

摘要

本研究利用射频磁控溅镀法在玻璃基板上制备3 at.％的Cr掺杂ZnO薄膜,再以300℃～500℃温度退火处理25 mins,并探讨了退火温度对Al掺杂ZnO薄膜的微观结构与机械性能的影响.微观结构分析结果表明Cr掺杂ZnO薄膜的结晶方向为(002),且沿(002)方向的成长随退火温度升高而越加明显,但薄膜的表面却随退火温度升高而变得越来越粗糙.机械性能分析结果揭示晶粒尺寸随退火温度升高而增大,导致差排原子的动能随之降低,致使Cr掺杂ZnO薄膜的硬度随退火温度升高而增大,但对其对杨氏模量却没有太大的影响;此外,Cr掺杂ZnO薄膜的耐磨性与韧性均随退火温度升高而增强,表明退火处理对该薄膜的抗塑性形变能力有很大帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马媛媛	青岛酒店管理职业技术学院酒店工程学院	11	16	3.0	4.0
2	方新	齐鲁工业大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0