LED光刻机物镜垂向基准变化的影响分析

• 作者: 陈慧
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 投影物镜基准 设计变更 影响分析
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 43-47
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3705字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2020.02.010

摘要

物镜是LED光刻机的核心部件,物镜的物面和像面是工件台、掩模台、照明等分系统集成的关键基准.物镜集成时可选用的垂向集成基准有像面、物面、物镜法兰面等.物镜集成基准的变化,会对这些分系统的集成在成本、进度和效率等方面带来影响.需要进行全面分析,来确定具体的影响内容,为规避影响提供依据.基于物镜垂向集成基准从像面变更为物镜法兰面进行影响分析.通过尺寸链分解的方法展开影响分析.根据这两种基准,分别对这些分系统的垂向集成误差建立了尺寸链,根据尺寸链梳理两组间的差异项,再分析差异项在设计、工艺流程、装配等方面的影响.通过分析,给出了物镜基准变更对工件台、掩模台、硅片对准、照明等分系统的具体影响内容.