磁控溅射掺铝氧化锌薄膜制备及其光电性能分析

• 作者: 吴蓉 杨珮艺 王永顺
• 来源期刊: 兰州交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射 掺铝氧化锌 电性能 光学特性
• 年，卷（期）: 2020,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 113-116
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.92
• 字数: 1874字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4373.2020.01.018

摘要

通过改进AZO薄膜的制备工艺,提高了AZO薄膜的光学与电学性能、完善了制备工艺,克服了成膜温度较高等不足,成功制备出性能优良的AZO薄膜.通过对新制备的AZO薄膜样品进行XRD和SEM测试,深入分析了影响薄膜结构和电性能的物理因素,获得了最佳制备工艺条件.在室温34℃、溅射功率1000 W、溅射气压0.052 Pa、溅射时间87 min条件下,溅射产额最高,离子能量最高,可形成性能最优的AZO薄膜结构和形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王永顺	兰州交通大学电子与信息工程学院	35	128	7.0	9.0
2	吴蓉	兰州交通大学电子与信息工程学院	31	88	6.0	7.0
3	杨珮艺	兰州交通大学电子与信息工程学院	1	0	0.0	0.0