光刻机负刚度主动减振技术研究

• 作者: 刘剑 周宏权 杨辅强
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 动力学 负刚度 主动减振系统
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 35-40
• 页数: 6页
• 分类号: TH703.63
• 字数: 2514字
• 语种: 中文

摘要

根据光刻机主动减振技术的发展趋势和应用特点,对一种用于隔离光刻机地基振动的负刚度减振技术进行了研究.在分析负刚度减振系统结构原理的基础上,采用多刚体建模技术建立了该负刚度减振系统的动力学模型;针对负刚度减振系统的动力学特性,设计了该负刚度减振技术的控制策略;在此基础上,对该负刚度主动减振系统进行了仿真和试验研究.仿真和试验结果表明,采用该控制策略的负刚度减振技术能获得极低的固有频率和良好的隔振性能.