蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜透射谱研究

• 作者: 李浩杰 张燕
• 来源期刊: 光学学报
• 关键词: 薄膜 AlGaN 全组分 光学性质 多层薄膜模型 透射谱拟合
• 年，卷（期）: 2020,（19）
• 所属期刊栏目: 薄膜|Thin Films
• 页码范围: 213-222
• 页数: 10页
• 分类号: O484.4+1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS202040.1931002

摘要

全组分AlGaN是指Al组分(原子数分数)在0～1之间的AlGaN.通过将组分引入到AlGaN的复折射率中,在200～800 nm光谱范围内建立了全组分AlGaN复折射率公式.通过椭圆偏振法获得了蓝宝石的光学参数,并利用透射谱进行了验证.利用上述复折射率公式和多层光学薄膜模型研究了蓝宝石衬底多层AlGaN薄膜样品的透射谱,分析了各层薄膜对样品透射谱的影响以及工艺可能造成的实际结构的偏移,提出了一种多层薄膜透射谱的快速分析法.