Pd掺杂SnO2厚膜CO2气体传感器的制备及其气敏特性研究

• 作者: 毕道广 罗兵 张福增 王婷婷 姚英邦
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: CO2气体传感器 厚膜 SnO2 Pd掺杂
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 11-18
• 页数: 8页
• 分类号: TM535
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1662

摘要

当前CO2的过度排放引发了一系列的环境问题,CO2的检测技术成为气体传感器研究领域的热点.半导体气敏传感器是气体传感器研究的主流方向之一,其中丝网印刷法是制备厚膜传感器的最常见的方法.本文采用纳米SnO2作为主要的气敏材料,制备了不同Pd掺杂含量的SnO2浆料,然后采用丝网印刷法制备了SnO2厚膜CO2气体传感器.研究发现,当Pd的含量为SnO2的1％(质量分数)时,传感器在258℃工作温度下,对CO2有最大的响应值1.98.该传感器能够检测的CO2浓度下限为1000ppm,其响应值随着CO2浓度的升高而增大.