双离子束溅射Al2O3薄膜高温绝缘特性的研究

• 作者: 张丛春 黄漫国 梁晓波 闫博
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 关键词: 双离子束溅射沉积 Al2O3薄膜 衬底温度 高温绝缘 温度传感器
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制|Research & Development
• 页码范围: 311-315
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4+2
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1715

摘要

随着薄膜传感器在航空工业中的应用,高温绝缘层的研究发展愈加重要.在此研究背景下,采用双离子束溅射的方法制备了Al2O3薄膜高温绝缘层,探讨了溅射时的衬底温度对Al2 O3薄膜物相结构的影响,并研究了所制备的Al2O3薄膜从室温至1000℃范围内的绝缘特性.另外,本文还将所制备的Al2O3薄膜高温绝缘层应用在热阻型温度传感器中,测试了其在高温环境中的表现.结果表明:双离子束溅射沉积的Al2O3薄膜主要以非晶形式存在,薄膜断面的微观形貌致密;2μm厚度的Al2O3薄膜的室温电阻可达2 GΩ,800℃下电阻可达到5 kΩ,表明双离子束溅射方法制备的Al2O3薄膜绝缘层具有良好的高温绝缘性能.