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电子工业专用设备2006年第1期出版文献
出版文献量（篇）
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总被引数（次）
10002
电子工业专用设备
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Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2006年1期页码:摘要： 随着集成电路在全球经济中扮演的角色日益重要,集成电路关键设备已成为集成电路发展过程中的战略焦点.本文通过对目前集成电路设备的国内外市场分析,在提醒相关产业部门注意集成电路设备的重要性之外,更...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2006年1期页码:摘要： 出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器.这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS).这种性能为流动控制研究...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2006年1期页码:摘要： 提出超音波微换能组件封装设计制作方法,并以微制程技术发展主动式防尘机制,提供组件屏蔽保护、操作可靠度与适当之讯号连接.针对超音波微换能组件进行封装设计,包含微封盖结构、晶粒黏着制程及防尘机制...
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7. MEMS中的簿膜制造技术刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2006年1期页码:摘要： 追述了薄膜淀积技术的历史,按照制备手段对MEMS制造中使用的各种薄膜制造技术进行了大致的分类和对比,介绍了相应的理论研究概况,除了电镀技术之外,MEMS技术基本来自传统的IC制造工艺.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2006年1期页码:摘要： RF MEMS是射频表面微机械系统简称.射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感.射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动.由于这一研究的高频化...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2006年1期页码:摘要： Lab-on-chip或μ-TAS(micro-total analysi s systemS)结合流体处理、检测及数据分析,是一种便携式的低成本高效器件.在微流体应用中,聚合物具有比硅或玻...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2006年1期页码:摘要： 曝光机是图形转移中的重要设备.传统的迈拉晒架存在着需要赶气、效率低等缺点,已不能满足现代生产的需要.现今双玻璃晒架已在国外中、高档曝光机上普遍采用,但在国内各厂商还不具备生产能力.设计了散射...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2006年1期页码:摘要： 介绍了J5706/ZF型硬质非金属材料精扩孔机扩孔的研磨机理、设计原理和应用.
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13. 触摸屏技术及其应用刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2006年1期页码:摘要： 在介绍触摸屏的基本原理之后,分析基于微控制器的触摸屏系统.
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14. 纠正套刻畸变刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2006年1期页码:摘要： 介绍了调整扫描投影式光刻机畸变的几种方法.畸变是扫描投影式光刻机经常出现的问题,由此而带来的各机台间不能套刻,给生产造成相当的麻烦.简单分析问题的成因及调整方法.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2006年1期页码:摘要：
电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
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