日本近年RF MEMS开关研究的进展

• 作者: 叶甜春 景玉鹏 李超波 杨清华 欧毅 焦斌斌 石莎莉 董立军 陈大鹏 黄钦文
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 射频表面微机械系统 高频开关 高频继电器
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 专题报道(MEMS)
• 页码范围: 43-45
• 页数: 3页
• 分类号: TN564
• 字数: 1715字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.01.008

摘要

RF MEMS是射频表面微机械系统简称.射频表面微机械系统现在包括滤波器和微型电器元件,如开关,微可变电容和微可变电感.射频开关按驱动原理分有静电,压电,电磁以及热驱动.由于这一研究的高频化和高精度的特点,目前开关的研究集中在静电驱动的方式的研究上,从上市的产品来看,静电驱动是最有希望的RF MEMS的执行机构.静电执行器驱动的RF MEMS开关成为下一代高频通讯中的关键部件.