电子工业专用设备期刊
出版文献量(篇)
3731
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
出版文献量(篇)
3731
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10002
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  • 作者: 《电子工业专用设备》编辑部
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  1-7,43
    摘要: 在介绍EUV光刻原理和EUV光源基本概念的基础上,讨论了目前研究得最多、技术最成熟的激光产生的等离子体LPP光源,着重对EUV光源的初步应用和EUV光刻设备的开发进展情况进行了详细介绍与讨论...
  • 作者: 何峰 吴志明 李正贤 王军 蒋亚东 袁凯
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  8-12,18
    摘要: 对准系统是光刻机中最精密复杂的部分,掌握对准原理是设计和使用光刻机的关键之一.阐述Nikon步进投影光刻机(Stepper)的对准机制,详细介绍目前应用于Nikon步进光刻机硅片对准的三种对...
  • 作者: 刘英坤 张振宇 胡顺欣 苏延芬 邓建国
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  13-18
    摘要: 以Coria1200M型干法刻蚀机的三种刻蚀模式为基础,分析了微波等离子体刻蚀技术的优缺点,并讨论了下电极结构对干法刻蚀形貌、一致性和重复性的影响.利用微波等离子体刻蚀技术与反应离子刻蚀技术...
  • 作者: 刘俊标 李勇滔 殷伯华 薛虹 韩立
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  19-24
    摘要: 基于激光干涉仪的精密工件台是电子束曝光机的关键设备.为了改进工件台控制器的运算速度.设计了一种基于FPGA的电子束曝光机工件台控制器.本控制器由上位机接口、激光干涉仪测量系统接口、电机控制接...
  • 作者: 杨树文
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  25-29
    摘要: 对砂轮划片杌θ向机构及齿轮传动误差产生原因进行了分析.对消隙齿轮θ向机构中的回程误差和传动误差进行了估算,并对验证数据进行了分析,所述方法及计算实例对解决工程实际问题提供依据和建议.
  • 作者: 宋福民 王星 肖俊君
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  30-36
    摘要: 印制线路板(PCB)是电子产品的载体,随着电子产品向轻薄短小,高功能化、高密度化、高可靠性、低成本化方向发展,促使PCB制造中的关键设备PCB数控钻孔机也向高速、高精、高稳定、低成本方向发展...
  • 作者: 周国安 詹阳
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  37-39
    摘要: 根据承载器与抛光台的转速、浆料中微粒尺寸及下压力对抛光工艺的影响进行统计分析.特别是工艺中的抛光去除率、金属碟形缺陷和层间介质的侵蚀作为输出结果的主要参考因素.采用3水平3因数的实验方案,结...
  • 作者: 刘严庆 夏志伟 纪伟
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  40-43
    摘要: 引线键合是半导体器件最主要的一种互连方法.介绍了引线键合机键合头的几种基本结构,并对比分析了不同结构对键合工艺产生的影响.
  • 作者: 单玉来 李云芝
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  44-47
    摘要: 简要介绍了环氧塑封料可靠性、流动性、内应力等性能及影响因素:对环氧塑封料与铜框架失效机理进行了分析,包括试验方法等内容,并对封装器件中产生的气孔、油斑问题,从环氧塑封料性能改进方面作了分析,...
  • 作者: 张秀霞
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  48-50,52
    摘要: 半导体器件和集成电路水汽含量偏高,会影响产品的电性能和可靠性.随着可靠性要求的提高.半导体器件和集成电路的内部水汽含量要求控制在5×10-3以下.导致水汽含量偏高的原因有3个方面:一是壳体的...
  • 作者: 陈杏
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  51-52
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  53-58
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  59-60
    摘要:
  • 作者:
    发表期刊: 2009年4期
    页码:  61-68
    摘要:

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

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