电子工业专用设备期刊
出版文献量(篇)
3731
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电子工业专用设备

Equipment for Electronic Products Manufacturing

影响因子 0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉:
2001~2002年度标准化规范化部级奖  获2003~2004年度出版质量部级奖 
ISSN:
1004-4507
CN:
62-1077/TN
出版周期:
双月刊
邮编:
100029
地址:
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
出版文献量(篇)
3731
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10002
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  • 作者: 朱路 汪祥余 贺勇 郑阳升 郑顺奇
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  1-6,51
    摘要: 电触头是断路器、继电器、接触器、隔离开关等开关元件中负责接通、分断电路的部件,电触头材料需要有良好的导电导热性、耐机械磨损性、抗电弧腐蚀性、抗熔焊性等综合性能.目前广泛使用的电触头的材料主要...
  • 作者: 张文斌 王海明 葛劢翀
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  7-9,60
    摘要: 介绍了碲锌镉晶片双面磨抛机的工艺过程和原理,研究了双面磨抛工艺中磨抛液粒度、抛光压力、抛光液流量和工作台转速对晶片表面粗糙度及平整度的影响.
  • 作者: 杨玉梅
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  10-12,55
    摘要: 通过建立等线损切割模型,推算出等线损计算方法,同时研究了不同切割工艺参数对等线损工艺的影响.结果表明:钢线速度越快,回线率越高.切割厚度越大,硅片数越少,回线率越高;同时,等线损工艺能够保证...
  • 作者: 卓祖亮 张丛 张磊 石倩楠
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  13-16
    摘要: 介绍了离子注入机的结构原理、常用注入机的类型及其应用,以及夹持并冷却晶圆的关键部件——静电吸盘.构建了离子注入时晶圆的热仿真模型,对晶圆表面的温度分布进行了数值分析计算.
  • 作者: 刘海霞 卓祖亮 张磊 杜佳伟 石倩楠 谢均宇
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  17-22
    摘要: 针对离子注入机的晶圆传输过程,提出了一种提高晶圆传输效率的方法,在晶圆自动传输的基础上,对机械手传输动作、电机动作进行优化,节约不必要的时间消耗,提高了晶圆机械传输效率,同时开展晶圆温度技术...
  • 作者: 万喜新 何永平 周水清 王学仕 赵瓛 邓斌
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  23-26
    摘要: 阐述了一种氮化铝高温隧道烧结炉控制系统,讨论了系统的温度控制和安全防护控制,设计了系统自动工艺的工作流程,并给出了实现的关键代码.
  • 作者: 唐电 张威 彭宜昌 杨彬 陈特超
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  27-30,36
    摘要: 介绍了该设备的工作原理及主要构成,详细阐述了大型等离子体处理腔室的真空系统设计,对真空泵的选型进行了探讨,得到了不同工艺条件下的真空泵抽气曲线,在此基础上,采用有限元分析软件对其腔室结构进行...
  • 作者: 吕磊 周文静 郑如意
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  31-36
    摘要: 以光刻工艺为核心,介绍了匀胶曝光显影一体化设备,对设备的特点进行了分析,同时对设备的运行流程、结构布局、工作效率和电控及软件的实现进行了介绍,并提出了该设备今后优化的方向.
  • 作者: 刘建国 张奇 曾晓雁 杨师 王大志 王洪宇
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  37-41
    摘要: 介绍了一种自主研发的多段可控加热台的系统构造与工作原理,对其相关性能进行了测试,并在介电材料聚酰亚胺的制备过程中,对其进行了实际应用验证.结果表明,该加热台在PLC控制器与温控器的综合控制下...
  • 作者: 刘玲玲 李文祥 纪帆 范丹丹 谭伟
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  42-45,55
    摘要: 探讨了在SAT(Scanning Acoustic Technology)扫描过程中对分层扫描结果有显著影响的探头频率、探头下部的气泡、样品表面的气泡、气泡的处理方法及浸泡时间等进行了讨论,...
  • 作者: 付强 张炳毅 郑爱建
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  46-51
    摘要: 在单端电荷放大器校准装置的基础上,研究了差分电荷放大器的校准方法及其特性参数,建立了校准装置,获得了校准结果,并进行了不确定度评定,为差分电荷放大器的校准提供了一定的借鉴作用.
  • 作者: 刘骏
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  52-55
    摘要: 研究了一种基于反锐化掩模的X射线图像增强算法,通过图像增强可以突出图像细节特征,提高图像对比度,从而改变视图效果.利用了线性非反锐化掩模和非线性反锐化掩模两种算法可以有效地处理图像,具有良好...
  • 作者: 付少辉 张红民 彭浩 林升
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  56-60
    摘要: GPIB(General Purpose Interface Bus)接口广泛应用于各类测试仪器,故障发生时表现为无法连接、不能通信,元器件级别的维修难度大.通过对GPIB总线工作原理和硬件...
  • 作者: 刘凤华
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  61-63
    摘要: 介绍了自动环氧粘片机的基本工作原理,分析了自动环氧粘片生产过程中的一些常见问题,并给出了相应的解决方法.
  • 作者:
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  64-65
    摘要: 2020年11月8日至10日,第十八届中国半导体封装测试技术与市场年会在甘肃省天水市隆重举行.大会由中国半导体行业协会、甘肃省工业和信息化厅指导,中国半导体行业协会封装分会、天水市人民政府主...
  • 作者:
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  66
    摘要: "CHINAPLAS 2021国际橡塑展"以"新时代·新动力·永续创新"为展会主题,将于2021年4月13 -16日,启用深圳国际会展中心的16个展馆,以350000 m2的展场面积,携36...
  • 作者:
    发表期刊: 2020年6期
    页码:  66-67
    摘要: 当今是一个科技技术高速发展迭代的时代, 5G,人工智能,云计算,大数据,万物互联等新一代技术的崛起,"视屏显示"已经成为人机交流互动的主要界面,智能手机,AR/VR ,可穿戴设备,电视,车载...

电子工业专用设备基本信息

刊名 电子工业专用设备 主编 赵璋
曾用名
主办单位 中国电子科技集团公司第四十五研究所  主管单位 中国电子科技集团
出版周期 双月刊 语种
chi
ISSN 1004-4507 CN 62-1077/TN
邮编 100029 电子邮箱 faith_epe@sohu.net
电话 010-64443110,64655251 网址 www.chinaepe.com.cn
地址 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室

电子工业专用设备评价信息

期刊荣誉
1. 2001~2002年度标准化规范化部级奖
2. 获2003~2004年度出版质量部级奖

电子工业专用设备统计分析

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