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微纳电子技术2007年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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61. MEMS封装中的封帽工艺技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： MEMS封装技术大多是从集成电路封装技术继承和发展而来,但MEMS器件自身有其特殊性,对封装技术也提出了更高的要求,如低湿,高真空,高气密性等.本文介绍了五种用于MEMS封装的封帽工艺技术,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 为实现多隧道结和多岛结构,针对室温大气环境下,利用AFM阳极氧化加工方法,对加工LT-GaAs衬底上的nm级厚度的钛膜的重复性进行了研究.本实验在一定的加工条件下,分别加工了点阵列和线阵列,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要： 介绍一种利用示波器和光电转换装置同时测试窄脉冲半导体激光器的脉宽和功率的方法,主要分析了影响测量的几个因素,给出测量不确定度.该方法用示波器直接测量脉冲宽度,根据测量电压与激光脉冲功率的正比...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要：
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66. 《微纳电子技术》征稿启事刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年5期页码:摘要：
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67. 纳米粉体的分散技术与科学应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 研究了不同材质的7种纳米粉体中单个纳米粒子的结构特征;探讨了极稀的水 (无水乙醇)溶液中纳米粒子的单分散状态及不同基底表面的纳米涂层技术;获得了纳米粉体中单个纳米粒子的三维结构及相关信息.不...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 随着图形特征尺寸的不断缩小、集成度的不断提高,集成电路已进入纳米系统芯片(SOC) 阶段,摩尔定律依靠器件尺寸缩小得以延续的方式正面临着众多挑战.分析了纳米SOC中影响性能和良品率的关键效应...
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69. 隧穿注入量子点激光器概述刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 介绍了一种新型的载流子隧穿注入量子点激光器,具体内容涉及量子点激光器研究现状、存在的问题、隧穿注入量子点激光器的工作原理和优势、研究现状等.采用隧穿注入这一新的载流子注入方式,可有效提高量子...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 基于Synopsys Inc.最新推出的新一代nm级IC制程工艺设计工具--SenTaurus Process,实现了CMOS 架构的nm级NMOS制程的工艺级可制造性设计.仿真结果体现了S...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 介绍了Synopsys Inc.新近推出的新一代纳米层次器件物理特性仿真工具--Sen Taurus Device的功能特点以及进行器件物理特性仿真的典型流程.重点介绍了为实现nm级器件物理...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 在三氧化钨粉体材料中加入4%瓷粉和不同质量分数的金属氧化物,以恒温600℃烧结1h制成旁热式厚膜气敏元件.采用静态电压测量法,研究了元件的加热功率与元件灵敏度的关系以及响应与恢复特性.研究结...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用温控电弧炉,以FeS,Ni,Mg 的混和粉末作为催化剂,起弧电压为32V,放电时间为10 min;研究了催化剂组成与成分对制取单壁碳纳米管的影响,确定了优化参数.在环境温度为600℃时,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 采用电解质溶液离子输运的Nernst-Planck方程、液体运动的 Navier-Stokes 方程和电场的Poisson方程研究了微扩散管的双电层、电解质流动电位势和电黏性效应.采用有限体...
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75. MEMS材料力学性能测试方法刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 随着微机电系统(MEMS)的蓬勃发展,如何准确获得MEMS材料的力学性能参数成为当今研究的热点.由于尺度微小,试样的夹持、载荷的施加和测量、位移的测量等问题十分突出.本文对当今MEMS力学性...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 利用扫描探针显微镜(SPM)的导电探针在PMMA薄膜表面,μm/nm尺度下通过摩擦方式产生了电荷,并用静电力显微镜(EFM)对生成的电荷进行了观察.讨论了生成电荷的极性、数量、区域大小与摩擦...
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77. 聚焦离子束组合装置及应用刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成分分析、薄膜淀积和无掩膜刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术.对电子离子双束纳米工作站,聚焦离子束、扫描电镜和Ar离子束构成的"三束"显微镜系统的原...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 在蓄电池的充电管理以及保护中,使用单片机控制或者使用分立元件构成的控制器电路复杂并且占用面积大、功耗高,使其在很多场合特别是在光伏系统中的使用受到限制.为了解决蓄电池充电和保护电路的分离以及...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年6期页码:摘要： 作者结合切身经历,叙述了中国微电子技术和第一台组件计算机诞生的发展过程,回忆了中国科学院副秘书长李德仲先生对中国微电子技术的发展所作出的贡献,并以此作为对李德仲先生逝世的纪念.
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80. 硅晶圆CMP抛光速率影响因素分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 化学机械抛光(CMP)技术是半导体工艺中不可缺少的重要工艺.针对硅晶圆CMP平坦性问题,系统地考察了压力、转速、抛光垫、浆料、温度等因素对硅晶圆平坦化速率的影响,从中找到它们之间的优化参数,...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 利用RNGκ-ε模型对100 mm口径锥体差压式流量传感器进行了CFD数值模拟实验,其等效直径比β值分别为0.50,0.65,0.85,前锥角分别为40°,45°,50°,后锥角分别为120...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 感应耦合等离子体(ICP)刻蚀在AlGaN基紫外探测器台面制作中起着重要作用.在对比了ICP与RIE,ECR等干法刻蚀技术优缺点的基础上,采用Ni作为掩膜,Cl2/Ar/BCl3作为刻蚀气体...
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83. 微型气流陀螺敏感机理的有限元分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 根据计算敏感元件内的流场分布解释微型气流陀螺的敏感机理.利用ANSYS-FLOTRAN CFD软件,根据陀螺实际尺寸进行建模求解,计算出在不同输入角速度时二维腔体中气体的流场及分布.计算结果...
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84. 呼吸信号检测方法的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 呼吸信号的检测具有很高的临床使用价值,其中采用传感器进行检测已成为较成熟的手段,但由于传感器使用范围的局限性,在某些场合需要采用非接触式检测.主要对现有的呼吸信号的检测方法和应用情况进行了讨...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 谐振式微机械加速度计的微尺寸质量块引起的惯性力很小,严重制约了加速度计灵敏度的提高,因此提出采用杠杆机构放大惯性力.由于硅基微杠杆机构的各部分均为刚性连接,且杠杆的输入、输出端有约束存在,制...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 为解决硅微机械谐振式压力传感器的微弱信号检测问题,并改善其可靠性和动态响应,提出在传感器原有结构上增加辅助传感器,构成组合敏感原理.利用根据辅助传感器测量结果推算出的谐振频率近似值,可控制带...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 研究了光纤光栅(FBG)应变传感器的封装与安装工艺对温度交叉敏感特性的影响.基于弹性力学理论对表面粘贴式和表面螺栓安装式两种典型的FBG应变传感器封装形式的交叉敏感机理进行了理论分析,并对国...
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88. 低轨道卫星表面充电模拟刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 卫星在太空运行过程中,在周围等离子体和光电效应等综合作用下,会带上与周围等离子体环境不同的悬浮电位,这个电位会影响星上测量载荷的测量精度和测量范围.利用航天器与等离子体相互作用系统软件SPI...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 设计了一种新型的单基三电极石英晶体谐振器,并在大气环境条件下测试分析了这种谐振器的频率-度特性,验证了其频率-度特性与已有的单基单电极谐振器的频率-温度特性基本一致,曲线为三次曲线.在相同激...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2007年7期页码:摘要： 提出一种通过自适应补偿提高长秤台汽车动态称重系统精度的方法.根据汽车动态称重两自由度模型,利用零、极点对消原理,设计校正滤波器,改善信号响应特性,使信号快速达到平稳状态.实验结果表明,本方法...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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