微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
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16974

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
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  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  69-77,112
    摘要:
  • 作者: 余曙芬 冯尚功 李惠军 郭琪 陈延湖
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  78-82,133
    摘要: 研究了不同基区设计对多发射极指结构功率InGaP/GaAs异质结双极型晶体管热稳定性的影响.以发生电流增益崩塌的临界功率密度为热稳定性判定标准,推导了热电反馈系数φ、集电极电流理想因子η和热...
  • 作者: 刘忠华 唐斌 张强 罗强 陈建勇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  83-89,139
    摘要: 介绍了纳米ZnO常见发光谱的发光机制.在室温光致发光谱(PL)中,一般在380 nm处出现紫外发光,也有报道在357和377 nm处的紫外发光,列举了几种不同的发光解释.对于深能级发光,一般...
  • 作者: 侯娟 刘爱华 刘玫 孔德敏 满宝元 郭进进
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  90-95
    摘要: 采用激光分子束外延法先在Si(111)衬底上制备Zn薄膜,在不同的氧气体积流量和生长温度下,用热蒸发法在镀有Zn薄膜的Si(111)衬底上制备了不同形貌的ZnO纳米晶须.分别用X射线衍射(X...
  • 作者: 任天令 刘理天 张兆华 林惠旺 韩锐锐
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  96-101,123
    摘要: 灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标.为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器,必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法.提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力...
  • 作者: 凌源 杜亦佳 赵兴海 邓成 郑英彬 鲍景富
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  102-107
    摘要: 针对传统多位分布式MEMS传输线(DMTL)移相器需要多个偏置电压控制的问题,提出了一种单电压控制多位DMTL移相器的设计方案.这种移相器的每一位具有不同的弹性系数,因此它们的下拉电压各不相...
  • 作者: 刘建生 李礼 杨帆 谌贵辉
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  108-112
    摘要: MEMS加速度传感器大幅提高了新型地震检波器的各项性能指标.利用有限元软件AN-SYS建立了悬臂硅梁的力学模型,并通过其力学性能仿真,得出优化的设计结构尺寸,即梁长L=150μm,梁宽b=4...
  • 作者: 何火军 鄢细根 陈新安
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  113-117,128
    摘要: 推导出了直接栅MOSFET静电场传感器的温度漂移系数,并研究了温度漂移的主要原因.此研究工作对消除直接栅MOSFET静电场传感器的温度漂移有一定的帮助.首先,建立了直接栅MOSFET静电场传...
  • 作者: 李以贵 白万青 陈翔
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  118-123
    摘要: MEMS微针在生物领域中的应用日益广泛,为了方便微针刺入皮肤且减少疼痛,要求微针具有足够的强度和锐利的尖端.传统LIGA工艺只能制造出具有高深宽比的垂直侧壁结构.对传统LIGA工艺进行调整,...
  • 作者: 赵兴海 郑英彬 陈颖慧 高杨
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  124-128
    摘要: 研究了用于声表面波滤波器的微米尺度的叉指换能器的制作工艺.利用剥离工艺,分别采用铝和铬金两种金属制作了叉指换能器的电极,分析了剥离工艺制作叉指电极时的工艺特性.对加工样品的测量分析结果表明,...
  • 作者: 周嘉 李燃灯 秦宗慧
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  129-133
    摘要: 以氧化铟锡(ITO)玻璃作为基底,采用UV-LIGA技术制作了双层微齿轮型腔模具的镶块.首先,采用正胶(RZJ-304)进行光刻,在ITO玻璃表面电镀镍掩模,通过镍掩模对第一层SU-8光刻胶...
  • 作者: 余协正 叶迎华 李创新 沈瑞琪
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  134-139
    摘要: 为了提高低浓度下四甲基氢氧化铵(TMAH)体硅刻蚀的质量,通过对质量分数为5%的TMAH进行研究,发现合适的过硫酸铵(AP)添加方式和添加量能够在不降低刻蚀速率的条件下提高体硅刻蚀质量.通过...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2012年2期
    页码:  140
    摘要:

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

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