微纳电子技术期刊
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微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
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  • 作者: 刘建霞 王文达 高翻琴
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  188-194
    摘要: 采用水热法合成了不同质量分数Co掺杂ZnO纳米结构,利用扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)对其表面形貌、元素种类和物相结构进行了分析和表征.制备出了基于不同量...
  • 作者: 夏英杰 师巨亮 张曦 杨建业 韩颖
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  195-200
    摘要: 针对范德堡霍尔样品复杂的制作工艺会引入较大误差,造成定量迁移率谱分析(QMSA)结果不准确,利用非接触霍尔测量采集的功率数据作为定量迁移率谱分析的输入数据,并通过数据点平滑外插扩展最大磁场范...
  • 作者: 孙汶 朱平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年3期
    页码:  201-204
    摘要: 以棉花为模板,采用硝酸钴(Co(NO3)2·6H2O)为原料,在管式炉中以600℃,2h的煅烧条件,制备出了蜂窝状结构的四氧化三钴(Co3O4).扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(T...
  • 作者: 赵正平
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年4期
    页码:  209-219,226
    摘要: InGaAs HEMT器件和纳米加工技术的结合推动了InGaAs纳电子学的发展,在太赫兹和后CMOS逻辑电路两大领域产生重要影响.综述了InGaAs纳电子学近10年在两大领域的发展路径和最新...
  • 作者: 冯朝文 刘小强 崔焕卿 张明亮 张波 杨晓阔 王森 秦涛 蔡理
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年4期
    页码:  220-226
    摘要: 首先深入分析了具有阈值特性的双极性忆阻器模型的阈值电压和高低阻态开关特性,然后基于此模型设计了蕴含逻辑门电路,该设计有效解决了由线性漂移忆阻器模型构建的蕴含逻辑门电路存在的状态漂移问题.最后...
  • 作者: 左国防 张建斌 李志锋 雷新有
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年4期
    页码:  227-231
    摘要: 阐述了人工光合成系统高效光电转换过程与其结构之间的关系,讨论了光敏剂功能化石墨烯光诱导电子转移过程.石墨烯及氧化石墨烯(GO)与光敏剂卟啉、酞菁以共价、非共价或超分子形式相互作用,并通过调整...
  • 作者: 唐晨 黄远明
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年4期
    页码:  232-236,248
    摘要: 采用溶胶-凝胶法制备了Tb3+掺杂的SrTiO3纳米晶粉末,并对样品进行了X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、光致发光(PL)谱及光致发光激发(PLE)谱的测试与分析.研究发...
  • 作者: 白国花 谭秋林
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年4期
    页码:  237-241,269
    摘要: 许多研究表明细胞机械特性和细胞功能的变化密切相关.提出一种基于介电泳(DEP)原理的快速有效的检测细胞生物力学特性变化的方法.NB4细胞(属于白血病细胞株)作为样品细胞,其细胞生理状态的改变...
  • 作者: 任臣 刘德盟 李雨佳 杨拥军
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年4期
    页码:  242-248
    摘要: 设计了一款集成于微电子机械系统(MEMS)器件专用集成电路(ASIC)的数字输出CMOS温度传感器.该温度传感器主要由温度敏感电路、一阶∑-△调制器以及配套的偏置电路和时钟产生电路组成.通过...
  • 作者: 何洪涛 张建志 杨拥军 王伟忠
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年4期
    页码:  249-254
    摘要: 针对高铁、飞机等高速运行设施对动态压力监测提出的要求,研制了一种压阻式微电子机械系统(MEMS)超薄动态压力传感器.采用有限元分析(FEA)软件ANSYS对5种压力传感器芯片结构进行了仿真对...
  • 作者: 刘玉岭 孙鸣 洪姣 牛新环 王辰伟 韩力英 高宝红
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年4期
    页码:  255-258,275
    摘要: 主要研究了碱性清洗剂中不同体积分数FA/O型活性剂对SiO2颗粒沾污去除的影响.由金相显微镜实验可以看出,随着FA/O型活性剂体积分数的增加,SiO2颗粒沾污去除效果先升高后降低,在体积分数...
  • 作者: 于丽贤 粟雅娟 韦亚一
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年4期
    页码:  259-264
    摘要: 基于奇数周期理论,提出一种新型快速高效率的双重图形技术(DPT)拆分方法.对于图形拆分过程中遇到的剩余违规冲突问题,分析其存在的原因,阐述了已知解决途径;基于奇数周期理论,详细阐述了新型图形...
  • 作者: 张玉柱 蒋武锋 郝华强 郝月君 郝素菊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年4期
    页码:  265-269
    摘要: 在金属化球团中原位制备了碳纳米管,得到了多壁碳纳米管增强铁基复合材料,并研究了制备温度、丙酮体积与金属化球团质量比对碳纳米管原位生长的影响规律.实验采用场发射扫描电子显微镜、透射电子显微镜和...
  • 作者: 何谷峰 刘俊 汪洋 董丹 闵志远
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年4期
    页码:  270-275
    摘要: 研究了多种常用的基于溶液法的空穴传输材料,发现在空气中退火可以提高其空穴传输能力,性能接近蒸镀法制备的材料.但是这些材料很容易被发光材料的溶剂溶解,这限制了其在溶液法有机发光二极管(OLED...
  • 作者: 刘文杰 李远鹏 谢媛媛 赵子润 陈凤霞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  281-286,350
    摘要: 随着微波T/R组件小型化需求的增加,微波单片集成电路(MMIC)向小型化和多功能发展.基于GaAs E/D PHEMT工艺成功研制了一款超小型7~8.5 GHz幅相控制多功能芯片.片上集成了...
  • 作者: 乔丽华 张敬晶 范素军 赵瑞斌 郝晨茹
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  287-291
    摘要: 采用磁控溅射制备Zn1-xNixO(x=0.02,0.03,0.04,0.05,0.07)薄膜,X射线衍射显示所有样品均具有纤锌矿结构.X射线能谱表明在制备薄膜过程中没有引入其他元素.X射线...
  • 作者: 夏英杰 师巨亮 张曦 杨建业 韩颖
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  292-296,350
    摘要: 有效提高隧道结的峰值隧道电流密度(Jp)是提高多结太阳电池(MJSC)聚光倍数和光电转换效率的关键.根据隧道结的电子输运原理,隧道结p区价带费米能级之上的空量子态与n区导带费米能级之下的满量...
  • 作者: 曾汉春 胡延东
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  297-303,339
    摘要: 基于直流绝缘式介电泳技术和数值模拟方法,设计了一种二维微扩锯齿状微通道,实现对直径分别为4,8,12,16和20μm的聚苯乙烯微粒进行多目标同时分离.通过分析介电泳力对微粒运动轨迹的影响,并...
  • 作者: 李相鹏 郑亮 黄海波
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  304-309
    摘要: 提出了一种基于磁场驱动的蝌蚪形微型机器人系统.系统主要包含基于Helmholtz线圈搭建的磁场控制平台和一个特征长度为4 mm的具有蝌蚪外形的微机器人.通过在线圈中施加符合特定变化规律的电流...
  • 作者: 张国军 张文栋 王续博 郭楠 郭静
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  310-315
    摘要: 针对传统矢量水听器在实际应用中需要辅助弹性悬挂,不便于工程应用的问题,设计并制造了一种具有低加速度灵敏度可刚性固定的差分型MEMS矢量水听器.介绍了该水听器的工作原理,制作了试验样机.搭建实...
  • 作者: 吴大军 梁赪 王连卫
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  316-320
    摘要: 宏多孔硅基于MEMS技术,通过清洗、氧化、光刻和湿法刻蚀等工艺流程制备,其大比表面积的多孔三维结构可作为很好的骨架结构.以宏多孔硅为基底,在其表面以及通道内沉积集流层,制备的宏孔导电网络可作...
  • 作者: 付星星 刘扬 张国义
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  321-325
    摘要: 为进一步提高基于图形化蓝宝石衬底(PSS)技术的氮化镓(GaN)基LED的出光效率,针对PSS微结构的侧壁弧度进行了优化设计.研究实验采用感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀技术,通过优化三氟...
  • 作者: 刘玉岭 张文倩 栾晓东 牛新环 王娟 王辰伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  326-332
    摘要: 研究了抛光液中磨料、螯合剂、表面活性剂和氧化剂对Cu/Ru/SiO2材料去除速率选择比的影响.利用电化学和磨料颗粒表面Zeta电位对H2 O2和KIO4在Cu/Ru抛光中的作用进行了分析.采...
  • 作者: 丁桂甫 刘民 段力 王凤丹 王强 王英 邵靖 郑芳芳 高均超
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  333-339
    摘要: 介绍和表征了一种制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)软模板的工艺方法,并实现了非平面微加工工艺的图形转移.首先采用深硅电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制备了具有图形的硅片硬母版,然后用PDMS对...
  • 作者: 周思渊 李光涛 李端松 田铭
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  340-344
    摘要: 为了避免深沟槽隔离过程中出现缝隙,提出了一种有利于多晶硅回填的倒梯形沟槽.这种沟槽的开口处宽度比底部宽度大,使用了一种优化的微机械加工工艺,利用各向同性刻蚀形成了一种倒梯形沟槽.另一方面,对...
  • 作者: 何刚 刘浩 李庆伟 赵润 高鹏飞
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年5期
    页码:  345-350
    摘要: 氮化硅(SiNx)薄膜是一种广泛应用于半导体光电器件的介质膜,其性质的优劣直接影响器件的性能.使用SiH4与NH,作为反应气体制备出的氮化硅薄膜含有大量氢,应用于某些光电器件时,会导致器件工...
  • 作者: 何进 常胜 王豪 纪堉超 黄启俊
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年6期
    页码:  353-359
    摘要: 多值逻辑(MVL)相对二值逻辑具有更高的逻辑密度,可以相对简单的结构承载更多的信息,是一条值得探索的提升电路信息处理能力的途径.以共振隧穿二极管(RTD)为主要器件,设计了一种带有进位信号的...
  • 作者: 江洋 田敏 钟汇才
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年6期
    页码:  360-363,393
    摘要: 基于金属-金属(metal-to-metal,MTM)反熔丝技术的可编程存储和逻辑器件已经得到广泛应用.制备了基于高介电常数材料HfO2的铝/氧化铪/铝(Al/HfO2/Al)结构的MTM反...
  • 作者: 张艺超 杨建红 王娇
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年6期
    页码:  364-368
    摘要: 采用磁控溅射的方法制备了高质量的铁镍合金(Fe20Ni80)软磁性薄膜,探究了制备过程中溅射条件对Fe200Ni80薄膜质量的影响,包括溅射气压、溅射功率、退火温度和薄膜厚度等.这些条件或改...
  • 作者: 夏英杰 师巨亮 张曦 杨建业 韩颖
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2016年6期
    页码:  369-373
    摘要: 有效提高隧道结的峰值隧道电流密度(Jp)是提高多结太阳电池(MJSC)聚光倍数和光电转换效率的关键.根据有限表面源扩散原理求解Fick扩散方程得到了隧道结界面处杂质扩散浓度分布,发现隧道结界...

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

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2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

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