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微纳电子技术2019年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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22
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 提出了一种微结构聚二甲基硅氧烷(PDMS)为介质层的柔性阵列压力传感器,采用微电子机械系统(MEMS)工艺实现了传感器电极的制备,采用三明治的结构实现了柔性阵列压力传感器的制备.利用压力机和...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 采用溶剂热法制备了纯ZnO与V掺杂ZnO中空微笼结构,利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射(XRD)和X射线能量色散谱(EDS)对其微观形貌和晶体结构进行表征,...
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63. Ni/Pd/Au镀层的键合可靠性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 研究了陶瓷外壳不同厚度Ni/Pd/Au镀层的键合可靠性,并分析了金丝球焊、硅铝丝楔焊和粗铝丝楔焊经300℃不同时间贮存后键合强度变化及键合失效模式变化,并与Ni/Au镀层键合进行了对比.研究...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 提出了一种利用多壁碳纳米管(MWCNT)、硫堇(THI)和纳米金(AuNP)纳米复合材料固定在电化学传感器表面进行肿瘤标志物CA125快速检测的电化学免疫新方法.该方法检测原理是利用CA12...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年5期页码:摘要： 采用化学气相沉积(CVD)的方法在直径100 mm 4°偏角衬底上生长4HN-SiC同质外延片,研究工艺生长温度对外延层表面缺陷的影响,并使用金相显微镜、表面缺陷测试设备、汞探针和红外膜厚仪...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 基于机器学习的坏点检测技术已经成为光刻坏点检测的重要研究方向,在新技术节点开发与物理设计验证中具有重要意义.按照基于机器学习的光刻坏点检测技术的流程,依次介绍了特征提取、机器学习模型建模和待...
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67. 单电子晶体管探针的电荷检测机制刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 单电子晶体管(SET)具有极高的电荷灵敏度,是一种超灵敏电荷计.在先前工作的基础上,首先建立了电荷检测的电路模型,该SET扫描探针系统将SET器件集成制备在探针针尖上.然后利用从已制备的SE...
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68. β-Ga2O3单晶腐蚀坑形貌研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 详细介绍了(100)、(010)和(201)三种不同晶面的β-Ga2O3单晶腐蚀坑形貌状态及不同形貌的演变过程.所用β-Ga2O3单晶样品均为导模法(EFG)制备,且经过研磨、化学机械抛光(...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： Cu2ZnSnS4(CZTS)不仅是传统太阳能吸收器的一种很有前途的替代品,也是一种性能优异的锂离子电池负极材料.以锂离子电池负极材料CZTS为研究对象,对其制备、改性方法、合成和储锂机理以...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 提出了一种基于WS2纳米片的聚酰亚胺柔性湿度传感器,传感器柔性薄膜和叉指电容电极分别采用加热亚胺化工艺和丝网印刷制备得到,其制备工艺简单,成本低廉.实验表明该柔性湿度传感器能够测量25％RH...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 微电子机械系统(MEMS)矢量水听器具有高灵敏度、低频探测能力和“8”字指向性等特点,在水下探测时表现出良好的性能.双层纤毛结构在相同悬臂梁负荷的前提下能够有效提高水听器的灵敏度,但在二次集...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 对光离子传感器的结构进行了优化研究,针对光离子化传感器灯面残留物干扰问题采取了自清洁双紫外灯式传感器的新型结构,同时利用有限元法对传感器气流场进行仿真实验.通过对仿真实验的结果进行分析,对微...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 提出了一种非同一平面的双弯曲梁的压阻式加速度计,在加速度作用下该结构梁的质心与质量块的质心对齐,从而实现低横向效应.利用SOLIDWORKS软件建立了结构模型,并用Comsol仿真软件和有限...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 采用油浴水解反应法和退火还原法合成氧化铁-碳纳米管/还原氧化石墨烯(Fe2 O3-CNT/rGO)复合材料.通过扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射(XRD)对Fe...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 玻璃材料近年来被广泛应用于微电子机械系统(MEMS),对于玻璃材料的加工,电化学放电加工(ECDM)是一种被广泛运用的手段.针对目前的电化学放电加工存在热影响区和过切现象的问题,提出了一种激...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 金属硅化物材料具有较低的接触电阻,并且与硅材料有较好的兼容性,所以在互补金属氧化物半导体(CMOS)器件中被看作是重要的电极材料.形成镍金属硅化物的关键是镍金属单质的淀积工艺.如何在大深宽比...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 提出了一种在常温下通过简单的恒电流阳极氧化制备Al2O3薄膜构建金属-介质-金属(MIM)结构电容器的方法,通过控制阳极氧化时间制备出不同厚度Al2O3薄膜,避免了高成本且复杂的制备工艺.首...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年6期页码:摘要： 半导体器件内键合线的线形复杂程度决定键合工序和调试工序的效率.以提高键合工序生产效率为目的,利用射频仿真软件对某成熟半导体器件内匹配线进行从手动键合向自动键合的优化.结合金丝球焊线形特点,进...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： 以荧光碳点(CD)为载体、阿霉素(DOX)为抗肿瘤药物,通过静电吸附作用构建了一种pH响应型的碳点负载阿霉素(CD-DOX)载药体系.应用紫外可见吸收法、二甲基噻唑蓝法和荧光显微成像法对碳点...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： 使用3,4-乙烯二氧噻吩(EDOT)与聚(4-苯乙烯磺酸钠)(NaPSS)的混合水溶液为电解液,采用交流电沉积法在Pt微电极对之间沉积形成薄膜、线、枝晶等不同形貌结构的有机半导体(OS)沟道...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： TiO2纳米管因其具有独特的结构优势和优异的物理化学性质,受到了广泛的关注与研究.然而,TiO2纳米管阵列(NTA)的制备主要以钛片为基底,很难与硅的微加工工艺相兼容,制约了其在微型电子设备...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： 采用经典分子动力学方法研究了多孔石墨烯膜的反渗透特性,揭示了盐溶液质量浓度、外部压强、孔面积和孔形状对多孔石墨烯膜反渗透特性的影响规律.结果 表明:脱盐率随着盐溶液质量浓度的增加而增大;水通...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： 基于仿生学原理,设计了一种仿侧线神经丘的微电子机械系统(MEMS)矢量水听器.该水听器采用环形纤毛模拟鱼类侧线神经丘中的纤毛束与胶质顶,通过4个十字梁与集成在梁上的压敏电阻将声信号转换为电阻...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： 光波导谐振腔是谐振式光学陀螺的核心传感器件,其性能直接决定了谐振式光学陀螺的精度.为了提高谐振式光学陀螺系统的精度,分别对用于谐振式光学陀螺的核心器件透射式谐振腔和反射式谐振腔进行了研究.首...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： 细菌是许多疾病的病原体,对它的快速检测在医学领域具有重要意义.液滴作为稳定的微反应器,被越来越多地应用于绝对定量检测的研究中.研制了一种用于细菌快速检测的离心力液滴式微流控芯片,该芯片能够实...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： 传统Ag/AgCl湿电极存在柔韧性差、稳定性不高等缺点,已不能满足应用于智能可穿戴设备采集表面肌电信号(sEMG)的需求.提出一种通过微电子机械系统(MEMS)技术制备柔性干电极的方法,并针...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： 为了提高气敏传感器性能,设计并制备了玻璃基底的微加热板,包括加热电极和测试叉指电极(IDE),基于微加热板,利用聚苯乙烯(PS)微球作为掩模,使用多次光刻-剥离工艺制备三维多孔SnO2薄膜传...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： 以苯胺与二氧化锡(SnO2)为前体,通过将原位化学氧化聚合法与静电吸附相结合,在柔性衬底聚酰亚胺(PI)上制备了聚苯胺-二氧化锡(PANI-SnO2)复合薄膜.通过傅里叶红外光谱(FTIR)...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： 采用分子束外延(MBE)法在In0.53Ga0.47As衬底上沉积了金属Er薄膜,后经氧气退火得到Er2O3薄膜.台阶仪测得该Er2O3薄膜厚约10 nm.X射线光电子能谱(XPS)显示,采...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2019年7期页码:摘要： 为了满足异质集成应用中对转接板机械性能方面的需求,提出了一种基于双面硅通孔(TSV)互连技术的超厚硅转接板的制备工艺方案.该方案采用Bosch工艺在转接板正面形成300 μm深的TSV,通过...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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