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微细加工技术2000年第1期出版文献
出版文献量（篇）
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微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
总被引数（次）
4940
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1. 微光刻技术的发展刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 阐述了光刻技术的发展及其分辨极限,对准分子激光光刻技术及其发展作了比较详细的论述.
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2. 灰度掩模技术刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 二元光学被誉为"1990年代的光学技术",在国防、科研、生产等领域都显示出广阔的应用前景.衍射光学元件有很多制作方法,比较成熟的有二元光学元件加工方法和激光或电子束直写技术加工方法.二元光学...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 邻近效应是指电子在抗蚀剂和基片中的散射引起图形的改变,它严重地影响了图形的分辨率.有多种方法对邻近效应进行修正如剂量调整、图形调整等.我们以JBX-5000LS为手段,用三种方法:1图形尺寸...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 用大束流密度的钒金属离子注入硅,能够直接合成性能良好的薄层硅化物.随束流密度的增加,硅化钒相生长,薄层硅化物的方块电阻Rs明显下降,当束流密度为25μA/cm2时,Rs达到最小值22Ω/□,...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 介绍了分步重复投影光刻机亚半微米光刻物镜光学和机械结构研究设计、设计结果,以及公差控制.指出技术指标已达到:数值孔径NA=0.63、工作波长λ=365nm、倍率5x、工作分辨力R≤0.35μ...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 分析温度气压对物镜光学材料、透镜厚度间隔,以及空气折射率的影响,并用空气折射率对物镜像质影响进行模拟计算.研究表明物镜焦面产生较大漂移,对倍率有一定影响,而对畸变影响较小,指出对物镜进行温度...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 阐述高分辨力光刻机的图像对准系统的原理及实现过程.着重介绍图像处理技术在高精度对准系统中的应用.并讨论系统应用中的图像处理算法.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 介绍了0.8～1.0μm分步重复投影光刻机双光路光栅衍射同轴对准系统的构成及原理,详细讨论了对准数据的软件处理和计算方法,并给出实际测试结果.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 对掩模,硅片同轴对准系统中影响对准精度的诸因素进行了理论分析,阐述了误差形成机理及相应的对策,以理论分析指导精度实验取得了±0.06μm(3σ)对准精度.
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10. 通过控制原子实现纳米图形制作研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 基于激光冷却和捕获原子的原理,初步探讨了利用原子进行纳米量级图形制作的基本原理和实验研究.研究结果表明,此技术可实现分辨率高达几个纳米大小的超微细图形制作,制作效率极高.
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11. φ2mm微马达驱动旋转式微泵刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 在生物医学、化学液体的流量检测与分析及固态元器件冷却等领域中,均需要流量的精细控制和检测系统.在这类流量精细控制和检测系统中,微小型泵是一个基本元件.作者利用上海交通大学研制成功的、由微细加...
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12. DEM技术中微复制工艺研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 利用DEM(Deeptching,Electroforming,Microreplication)技术获得的微复制金属模具进行了微复制工艺研究.对微复制工艺参数进行了优化,在PC、PMMA和...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 介绍了用LIGA技术研制用于微行星齿轮减速器的微齿轮过程中,X光掩模板图形的CAD设计.它包括微齿轮的建模和图形的生成,微齿轮图形的分割及图形的拟合.
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14. 微三维结构型腔的微细电火花加工刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 利用简单截面形状电极,建立在分层制造思想上的电极等损耗微细电火花加工技术是实现微三维结构微细加工的有效手段.分析了该方法的工艺特点;研究了实现该技术的条件及电极损耗补偿策略.
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15. 半导体金刚石膜的磁阻效应刊名： 微细加工技术发表期刊： 2000年1期页码:摘要： 研究了在硅上P型异质外延金刚石膜的磁阻效应.实验结果表明金刚石膜有显著的磁阻反应,并与磁阻器件的结构有关.在室温下圆盘形结构的磁阻相对变化在5T磁场下约为0.85,而长条形结构只有0.40.
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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