分步重复投影光刻机同轴对准数据处理

• 作者: 吕晓真 田宏
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 分步重复投影光刻机 同轴对准 数据处理
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1440字
• 语种: 中文

摘要

介绍了0.8～1.0μm分步重复投影光刻机双光路光栅衍射同轴对准系统的构成及原理,详细讨论了对准数据的软件处理和计算方法,并给出实际测试结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田宏	中国科学院光电技术研究所	43	278	9.0	15.0
2	吕晓真	中国科学院光电技术研究所	1	2	1.0	1.0